原子级反应真空获取及控制系统_招标详情

原子级反应真空获取及控制系统

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基本信息

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正文

延期信息

延期理由：	由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2026-10-15 12:00

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位	所属分类
原子级反应真空获取及控制系统	1	套	其他机械设备

品牌	北加州电子
规格型号	MPC3
技术参数	1.确保对接反应腔室后，本底真空＜0.05Torr，真空漏率＜5E-7Pa·L/S； 2.真空管路：腔室抽气端真空管路具有加热功能，加热温度RT-150℃； 3.真空泵：机械泵一套，抽速≥60m3/h，真空泵前级配置热阱，可以加热至500℃，防止前驱体源在管路内冷凝。 4.真空计：全量程皮拉尼真空计1个+工艺薄膜真空计1个，测量范围5E-5Torr-大气压，精度满量程的±1%；*网以及气动隔膜阀； 5.高精度PLC+工控机+沉积自动控制软件组成的控制系统；图像化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数；多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；沉积模式：连续模式、停流模式；人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置 6.在不大于直径8英寸尺寸的载板或样品台内放置25片2.5cm×2.5cm硅片或碎硅片作为测试片，厂家提供工艺配方，沉积 300 循环氧化铝，膜厚非均匀性NU≤±2%为合格；
售后服务	***网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;